富乐德科技申请铝合金部件表面氮化钽污染物清洗方法专利,实现铝合金部件的重复利用
创始人
2026-03-21 03:10:51

国家知识产权局信息显示,富乐德科技发展(天津)有限公司申请一项名为“一种铝合金部件表面氮化钽污染物的清洗方法”的专利,公开号CN121670534A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本申请涉及半导体设备零件清洁技术领域,具体公开了一种铝合金部件表面氮化钽污染物的清洗方法,包括以下步骤:部件保护与药浸、水洗、部件保护与喷砂、熔射、超声波清洗、后处理;其中,药浸步骤中的药液采用70%硝酸、N‑甲基吡咯烷酮和水复配而成,体积比为1:(0.15‑0.3):(0.8‑1.2);部件保护与喷砂步骤中首先采用白刚玉砂材WA60#对部件进行剥离喷砂,再采用白刚玉砂材WA24#进行精喷砂;部件保护与熔射步骤是将铝均匀熔射在铝合金部件的熔射面。本申请提供的清洗方法能够在减少对部件损伤的同时,实现铝合金部件表面氮化钽的高效去除,实现铝合金部件的重复利用。

天眼查资料显示,富乐德科技发展(天津)有限公司,成立于2011年,位于天津市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,富乐德科技发展(天津)有限公司专利信息63条,此外企业还拥有行政许可32个。

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来源:市场资讯

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