直角真空角阀怎么选?MIYUKI 美幸辉 AB/AE/ABR/AER 系列选型参考

很多真空项目选型时,会纠结:选波纹管还是 O 型圈?气动还是手动?能不能烘烤、能否承受反压。MIYUKI 美幸辉 L 型 AB/AE/ABR/AER 系列,覆盖从经济型中真空到超高真空烘烤工况,是真空系统隔断的成熟选型方案。
四大系列核心硬件对比
1、AB(气动波纹管):气动气缸,金属波纹管轴封;漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s;阀体烘烤 200℃;用于自动化高真空产线,半导体、PVD 镀膜高频通断;16‑50A 寿命 50 万次,80‑250A 寿命 10 万次。
2、AE(气动 O 圈):气动气缸,FKM 轴封;漏率≤1×10⁻⁸Pa・m³/s;阀体烘烤≤150℃;自动化中高真空设备,普通镀膜、脱泡、热处理,性价比方案。
3、ABR(手动波纹管):手轮操作,金属波纹管;漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s;阀体烘烤 200℃;无气源场合、检修旁路、实验室高真空腔体,不频繁启闭。
4、AER(手动 O 圈):手轮操作,FKM 轴封;漏率≤1×10⁻⁸Pa・m³/s;阀体烘烤≤150℃;简易实验设备、粗抽管路、检修隔断,预算有限场景。
优先选用波纹管(AB/ABR)的工况
优先选用 O 圈(AE/AER)的工况
选型避坑要点
1、气动 AB/AE,气源必须干燥无油;16‑50A 单 / 双作用可选,80A 以上只有双作用;
2、烘烤仅阀体部分,气缸、手轮感应开关不可高温,开关耐温 70℃以下京都玉崎;
3、需要阀位反馈,可选配磁性接近开关,实现全开全闭信号输出;
4、全系列支持反压,但手动款不适合高频快速开关;
5、腐蚀性介质工况,阀座密封可升级全氟醚 Kalrez。
