深圳安培龙科技股份有限公司于近日收到国家知识产权局颁发的1项《发明专利证书》,本次获得授权的发明专利名称为一种基于单晶PZT薄膜的MEMS器件及其制备方法,专利号为ZL 2026 1 0831777.5,专利权人为深圳安培龙科技股份有限公司,专利申请日为2026年06月10日,授权公告日为2026年08月28日,专利权期限为20年。该技术解决了单晶PZT薄膜MEMS器件中底层电极通孔引出时接触电阻升高、接触一致性差以及过刻蚀易损伤底层电极的问题,是公司在研产品MEMS加速度传感器的自主研发创新型核心技术,短期内不会对公司的经营业绩构成重大影响,未来将陆续在公司相关产品应用领域中应用。本次取得的发明专利有利于公司发挥产品的自主知识产权优势及技术创新优势,对提升企业核心竞争力、促进市场拓展及研发创新等方面都具有重要意义。
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来源:市场资讯