新顺微电子申请沟槽肖特基接触区湿法腐蚀控制方法专利，保障器件的高压稳定与高速开关性能_消费观察

新顺微电子申请沟槽肖特基接触区湿法腐蚀控制方法专利，保障器件的高压稳定与高速开关性能

创始人

2026-07-03 22:23:15

国家知识产权局信息显示，江苏新顺微电子股份有限公司申请一项名为“一种沟槽肖特基接触区的湿法腐蚀控制方法”的专利，公开号CN122341114A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明公开了一种沟槽肖特基接触区的湿法腐蚀控制方法，包括如下步骤：在完成Poly刻蚀沟槽栅极结构的晶圆的表面淀积一层抗腐蚀层；在所述抗腐蚀层上淀积一层氧化层；在所述晶圆上进行接触区光刻；将所述晶圆放入腐蚀设备中、对所述接触区中所述抗腐蚀层上的所述氧化层进行腐蚀清除处理；将所述晶圆放入干法刻蚀机中，对所述抗腐蚀层和栅氧结构进行刻蚀处理。本发明方法能够有效控制湿法腐蚀过程中的腐蚀量，使沟槽肖特基结构在做接触区氧化层刻蚀时实现对栅氧高度的控制，进而保障器件的高压稳定与高速开关性能。

天眼查资料显示，江苏新顺微电子股份有限公司，成立于2002年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10686.2522万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏新顺微电子股份有限公司参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息180条，此外企业还拥有行政许可23个。

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来源：市场资讯

投资控制沟槽器件肖特基开关性能接触区结构专利肖特基接触区湿法晶圆

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