11月14日，深圳清溢光电股份有限公司（以下简称“清溢光电”）“平板显示及半导体用掩膜版”佛山生产基地项目投产仪式在南海区丹灶镇隆重举行。

2024年，清溢光电启动投资人民币35亿元建设佛山生产基地项目，包括高精度掩膜版生产基地、高端半导体掩膜版生产基地。2025年11月，清溢光电佛山高端半导体掩膜版生产基地引入佛山第一台电子束光刻机，电子束光刻机是制造尖端半导体掩膜版的“王牌”设备，它的入驻正式开启了佛山高端半导体用掩膜版的制造历史，未来将向28nm目标发起冲击。

其中，高精度平板显示掩膜版基地总投资20亿元，分三期建设，主要生产8.6代及以下高精度FPD掩膜版，产品覆盖a-Si（非晶硅）、LTPS（低温多晶硅）、AMOLED（柔性有机发光显示）等平板显示领域，尤其针对AMOLED用高精度掩膜版需求，可填补国内空白，实现高端掩膜版国产化替代。

高端半导体掩膜版基地总投资15亿元，专注180nm-28nm制程半导体掩膜版生产，有望打破境外领先厂商的垄断格局，助力解决我国半导体产业链“卡脖子”问题。今年11月，清溢光电佛山高端半导体掩膜版生产基地引入佛山第一台电子束光刻机，电子束光刻机是制造尖端半导体掩膜版的“王牌”设备，它的入驻正式开启了佛山高端半导体用掩膜版的制造历史。

“我们将坚守技术创新与质量领先，深化产学研协同，加速掩膜版国产化进程，助力关键电子材料自主可控。”清溢光电董事唐嘉盛表示，基地投产标志着清溢光电在掩膜版领域迈上新台阶，佛山基地将继续聚焦高世代面板及先进制程半导体掩膜版研发制造，成为公司新的增长引擎。

清溢光电是国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一，公司产品曾多次打破国外垄断、填补国内空白，在我国掩膜版产业中处于领军地位。

在其佛山生产基地中，高精度掩膜版生产基地建设项目主要生产8.6代及以下高精度FPD掩膜版，应用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、MicroLED等平板显示掩膜版产品，特别是应对AMOLED用高精度掩膜版的需求（含建设中的8.6代AMOLED），填补国内空白，实现高端掩膜版的国产化替代。项目建成投产后，可进一步提升高精度平板显示掩膜版国产化程度及配套水平。

高端半导体掩膜版生产基地建设项目是建设建设28—180nm的高端半导体掩模板，该项目将提升产品技术和工艺水平，扩充生产规模，促进公司可持续发展。与此同时，该项目能够实现更高节点的高端半导体掩膜版的开发及产业化，有望打破境外领先厂商的垄断格局，提高在半导体产业链领域的技术安全及自主可控能力。

清溢光电总经理姜巍表示：“一定不负众望，努力将项目打造成行业标杆，为佛山夯实经济高质量发展底盘作出应有贡献！”

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