国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于产生宽带辐射的辐射源组件”的专利,公开号CN121263736A,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,一种用于产生宽带辐射的辐射源组件。该辐射源组件包括气室,该气室包封中空芯部光纤,其中气室包括被布置成接收泵浦辐射的输入端口和被布置成输出所述宽带辐射的输出端口,其中所述气室和所述中空芯部光纤的中空芯部填充有气体组合物。该辐射源组件还包括至少一个吸杂装置,该至少一个吸杂装置设置在气室内,并且至少部分地被气体组合物包围,其中中空芯部光纤被布置成在中空芯部光纤的输入端处接收泵浦辐射,并且在中空芯部光纤的输出端处输出宽带辐射。
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来源:市场资讯