国家知识产权局信息显示,FEI电子光学有限公司申请一项名为“借助非背面减薄式积分检测器与束能量量子化的带电粒子计数”的专利,公开号CN122246028A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本文提供了用于通过非背面减薄式积分检测器和束能量量子化促进带电粒子计数的系统/技术。在各种实施方案中,系统可以访问由配备有非背面减薄式积分检测器的带电粒子显微镜扫描的标本的能量积分图像。在各个方面,系统可以基于将由各像素簇指示的累积带电粒子能量强度四舍五入到带电粒子显微镜的束能量的最近整数倍,对有多少带电粒子事件由能量积分图像的相应像素代表进行计数。
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来源:市场资讯