国家知识产权局信息显示,杜邦特种材料韩国有限公司;杜邦电子材料国际有限责任公司申请一项名为“与外涂覆的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物”的专利,公开号CN122628586A,申请日期为2020年9月。
专利摘要显示,一种用于形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法,所述方法包括将涂料组合物的层施加在基底上;并且将光致抗蚀剂组合物的层布置在所述涂料组合物的层上,其中所述涂料组合物包含含胺聚合物,所述含胺聚合物包含烃取代的氨基并且具有氮原子,所述氮原子的量是基于所述含胺聚合物的总重量的3至47重量百分比。
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