上海交通大学申请基于金属辅助化学刻蚀的硅锭切割方法和系统专利，实现硅锭切割_消费观察

上海交通大学申请基于金属辅助化学刻蚀的硅锭切割方法和系统专利，实现硅锭切割

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2026-01-02 15:50:01

国家知识产权局信息显示，上海交通大学;上海斑图实业有限公司申请一项名为“基于金属辅助化学刻蚀的硅锭切割方法和系统”的专利，公开号CN121246057A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种基于金属辅助化学刻蚀的硅锭切割方法和系统，包括：步骤1：用丙酮和去离子水对碳纤维进行超声清洗，然后用氮气吹干；步骤2：以碳纤维为载体，在所述碳纤维上沉积催化金属；步骤3：清洗硅锭并干燥；步骤4：配置用于金属辅助化学刻蚀的刻蚀液，所述刻蚀液包括氢氟酸、氧化剂和去离子水；步骤5：将硅锭固定在刻蚀槽内，向所述刻蚀槽内注入所述刻蚀液，并用沉积有催化金属的碳纤维对硅锭进行刻蚀；步骤6：在刻蚀过程中，保持所述沉积有催化金属的碳纤维与硅锭接触，以实现切割；当接触区域的硅被刻蚀后，所述沉积有催化金属的碳纤维沿着刻蚀方向推进，以继续切割。

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来源：市场资讯

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