邦芯半导体申请等离子体喷射方向可调的角阀结构专利，有效提升了设备的连续运行时间_休闲娱乐

邦芯半导体申请等离子体喷射方向可调的角阀结构专利，有效提升了设备的连续运行时间

创始人

2026-05-06 14:57:55

国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种等离子体喷射方向可调的角阀结构及等离子体处理设备”的专利，公开号CN121922555A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆处理设备技术领域，尤其涉及一种等离子体喷射方向可调的角阀结构及等离子体处理设备，包括阀壳体、周向调节件、轴向滑轨、等离子体喷头和管路组件；阀壳体的内部设置有阀腔体，且阀壳体上设置有与阀腔体连通的第一阀门口和第二阀门口；管路组件设于阀壳体，其一端与等离子体源连通，另一端与等离子体喷头连通；轴向滑轨沿轴向设于阀腔体的侧壁上，周向调节件滑动设于轴向滑轨上且能沿轴向滑轨做轴向运动，等离子体喷头设于周向调节件上并能做周向旋转；本发明克服了传统机械或化学清洗需停机、效率低且可能损伤部件或引入污染的缺点，有效提升了设备的连续运行时间、维护效率并减少了污染风险。

天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息218条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资上海方向喷射设备等离子体导体结构专利周向滑轨调节件阀腔体

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